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用于微结构晶片检测的光学系统

作者:路易光电 来源:路易阳光电科技 日期:2018-04-27 10:26 浏览次数:
在半导体产业中,晶片检测系统用于检查晶片上的缺陷并找到它们的位置。为保证微结构的图像解析度,检测系统常使用一个高NA的物镜,工作在紫外波长范围。作为一个例子,模拟了一个完整的晶片检测系统,包括高NA聚焦效应和光与微结构的互作用,并演示了图像的形成。
 
建模任务
用于微结构晶片检测的光学系统
结果
用于微结构晶片检测的光学系统
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